Euv-Durchlässige Folie, Verfahren zur Verwendung davon und Belichtungsverfahren

EP4365676 Art A1 8. Mai 2024

Anmelder: NGK Insulators, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4365676
Aktenzeichen: EP22936051
Anmeldetag: 15. September 2022
Veröffentlichung: 8. Mai 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/62G03F1/22G03F1/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NGK Insulators, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 NGK Insulators

Japanisches Industrieunternehmen mit Sitz in Nagoya. NGK Insulators fertigt Keramikprodukte, darunter Isolatoren, Abgaskatalysatorträger, Sensoren und Energiespeichersysteme für Energieversorgung, Automobil und Industrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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