Verwendung einer Zusammensetzung und Verfahren zum Selektiven Ätzen von Silizium

EP4367712 Art A1 15. Mai 2024

Anmelder: BASF SE 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4367712
Aktenzeichen: EP22738456
Anmeldetag: 28. Juni 2022
Veröffentlichung: 15. Mai 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/306H01L21/3213

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: BASF SE
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 BASF

Deutscher Chemiekonzern mit Sitz in Ludwigshafen, gegründet 1865. Entwickelt und produziert Chemikalien, Kunststoffe, Agrarprodukte und Materialien für zahlreiche Industriezweige.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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