Trägeranordnung für Beschichtetes Substrat zur Substratverarbeitung

EP4367715 Art A1 15. Mai 2024

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4367715
Aktenzeichen: EP22838201
Anmeldetag: 19. Mai 2022
Veröffentlichung: 15. Mai 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/687H01J37/32C23C16/44C23C16/32C23C16/04C23C16/24C23C16/30C23C16/458C23C18/16C23C18/18C23C18/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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