Vorrichtung und Verfahren zur Beschichtung eines Substrates

EP4370726 Art A1 22. Mai 2024

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4370726
Aktenzeichen: EP22751316
Anmeldetag: 13. Juli 2022
Veröffentlichung: 22. Mai 2024
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/02C23C16/44C23C14/56C23C14/02H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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