Optisches Bilderzeugungssystem, Belichtungsvorrichtung und Bauelementeherstellungsverfahren

EP4372469 Art A3 4. September 2024

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4372469
Aktenzeichen: EP24168027
Anmeldetag: 24. November 2010
Veröffentlichung: 4. September 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G02B17/06G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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