Mikrowellenapplikator mit Solid-State Generator
EP4372783
Art A3
21. August 2024
Anmelder: MKS Inc., MKS Instruments, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4372783
- Aktenzeichen
- EP24166535
- Anmeldetag
- 16. Januar 2018
- Veröffentlichung
- 21. August 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32H01L21/67H05B6/64H05B6/68H05B6/70H05B6/80
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- MKS Inc.
MKS Instruments, Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
MKS Instruments
MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.
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Kanzlei
Venner Shipley LLP
Venner Shipley entstand 1947 aus einer Patentagentur der 1930er-Jahre; durch Fusionen reichen ihre Wurzeln bis in die 1880er zurück. Als europäische Full-Service-IP-Kanzlei ist sie neben Großbritannien auch in Madrid und München vertreten.
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MKS IP Association
MKS IP Association · Berlin