Verfahren zur Herstellung eines Sige/si-Übergitters

EP4374417 Art A1 29. Mai 2024

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4374417
Aktenzeichen: EP22846606
Anmeldetag: 21. Juli 2022
Veröffentlichung: 29. Mai 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/20C23C16/02C23C16/24C23C16/455C30B25/02C30B25/16C30B29/06C30B29/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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