Verfahren zum Aufbringen einer Deckenden Polymerbeschichtung auf ein Substrat

EP4374420 Art A1 29. Mai 2024

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4374420
Aktenzeichen
EP22846471
Anmeldetag
18. Juli 2022
Veröffentlichung
29. Mai 2024
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/683H01L21/67B05D1/02// B05D5/02B05D3/06B05D5/12B05D3/02
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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