Verfahren zur Implantation von Atomaren Spezies in ein Piezoelektrisches Substrat

EP4374672 Art A1 29. Mai 2024

Anmelder: SOITEC 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4374672
Aktenzeichen
EP22754801
Anmeldetag
19. Juli 2022
Veröffentlichung
29. Mai 2024
Rechtsraum
EP
IPC
H10N30/073
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SOITEC
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Soitec

Französischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Bernin, spezialisiert auf Silicon-on-Insulator (SOI) Substrate. Patente decken Halbleitermaterialien und Waferbondtechnik ab.

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