Vakuummessanordnung mit Ausrichtungssensor

EP4377653 Art A1 5. Juni 2024

Anmelder: Edwards Limited 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4377653
Aktenzeichen
EP22753751
Anmeldetag
28. Juli 2022
Veröffentlichung
5. Juni 2024
Rechtsraum
EP
IPC
G01L19/00G01L21/12G01L27/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Edwards Limited
Land
🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

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