Unsicherheitsabschätzung einer Positionsrekonstruktion von Halbleiterbauteilen auf einem Wafer

EP4377706 Art B1 10. Dezember 2025

Anmelder: Robert Bosch GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4377706
Aktenzeichen: EP23703775
Anmeldetag: 6. Februar 2023
Veröffentlichung: 10. Dezember 2025
Erteilung: 10. Dezember 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G01R31/28H01L23/544G05B13/02G05B19/418

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Robert Bosch GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Robert Bosch

Deutsches Technologie- und Industrieunternehmen mit Sitz in Gerlingen bei Stuttgart. Fertigt Kraftfahrzeugtechnik, Industrietechnik, Gebrauchsgüter und Haushaltsgeräte sowie Gebäudetechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

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