Verbesserte Spannungsabstimmung und Grenzflächenadhäsion für Wolfram (w)-Lückenfüllung

EP4377993 Art A1 5. Juni 2024

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4377993
Aktenzeichen: EP22850077
Anmeldetag: 12. Juli 2022
Veröffentlichung: 5. Juni 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/768H01L21/285H01L23/532C23C14/02C23C14/04C23C14/06C23C14/14C23C16/02C23C16/04C23C16/08C23C16/455

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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