Polierflüssigkeit für Cmp, Polierflüssigkeitssatz für Cmp und Polierverfahren

EP4379776 Art A1 5. Juni 2024

Anmelder: Resonac Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4379776
Aktenzeichen
EP22853102
Anmeldetag
3. August 2022
Veröffentlichung
5. Juni 2024
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/3105C09G1/02C09K3/14
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Resonac Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Resonac

Japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, hervorgegangen aus Showa Denko. Das Unternehmen stellt unter anderem Halbleitermaterialien, Elektronikchemikalien und funktionale Chemieprodukte her.

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