Plasmagenerator mit Dielektrischer Barriereentladung

EP4380319 Art A1 5. Juni 2024

Anmelder: Ushio Denki Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4380319
Aktenzeichen
EP22866918
Anmeldetag
28. Februar 2022
Veröffentlichung
5. Juni 2024
Rechtsraum
EP
IPC
H05H1/24H01L21/3065H01L21/31C23C16/513
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Ushio Denki Kabushiki Kaisha
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Ushio Inc.

Japanischer Hersteller von Lichtquellen wie Speziallampen, Lasern und LED-Modulen für Industrie, Halbleiterfertigung und Optik mit Sitz in Tokio.

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