Verfahren und Vorrichtung zum Abscheiden von Bauelementen auf einem Substrat

EP4383321 Art A1 12. Juni 2024

Anmelder: Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4383321
Aktenzeichen: EP22211797
Anmeldetag: 6. Dezember 2022
Veröffentlichung: 12. Juni 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/683H05K3/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 TNO (Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek)

Niederländisches, unabhängiges Forschungsinstitut für angewandte Naturwissenschaften mit Sitz in Den Haag. TNO betreibt anwendungsorientierte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Energie, Mobilität, Gesundheit, Verteidigung und Informationstechnologie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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