Verfahren zum Heizen einer Halbleiterstruktur

EP4386821 Art A1 19. Juni 2024

Anmelder: Comptek Solutions OY 🇫🇮

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4386821
Aktenzeichen
EP22212690
Anmeldetag
12. Dezember 2022
Veröffentlichung
19. Juni 2024
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/67H01L21/683
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Comptek Solutions OY
Land
🇫🇮 Finnland
Vertreten von
4
Patente gesamt
2
Fachgebiete
1
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