Polymer, Lichtempfindliche Harzzusammensetzung, Lichtempfindliches Element, Verfahren zur Bildung einer Resiststruktur und Verfahren zur Bildung einer Verdrahtungsstruktur

EP4388020 Art A1 26. Juni 2024

Anmelder: Resonac Corporation, Shanghai Jiao Tong University 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4388020
Aktenzeichen
EP21958661
Anmeldetag
28. September 2021
Veröffentlichung
26. Juni 2024
Rechtsraum
EP
IPC
C08F220/02H05K3/00C09D4/06C08F265/06C08F212/08H05K3/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Resonac Corporation
Shanghai Jiao Tong University
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Resonac

Japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, hervorgegangen aus Showa Denko. Das Unternehmen stellt unter anderem Halbleitermaterialien, Elektronikchemikalien und funktionale Chemieprodukte her.

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