Pyrometriefehlererkennungssensor für Rtp-Temperatursteuerungssystem

EP4388289 Art A1 26. Juni 2024

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4388289
Aktenzeichen: EP22858915
Anmeldetag: 13. Juli 2022
Veröffentlichung: 26. Juni 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G01J5/90G01J5/00G01J5/02G01J5/061G01J5/08G01J5/52H01L21/67G01J5/80G01J5/0806

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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