Beschichtungs- und Entwicklungsvorrichtung

EP4391017 Art A1 26. Juni 2024

Anmelder: ACM Research (Shanghai), Inc., ACM Research Korea Co., Ltd., Cleanchip Technologies Limited 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4391017
Aktenzeichen: EP21953831
Anmeldetag: 20. August 2021
Veröffentlichung: 26. Juni 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/00G03F7/00G03F7/16H01L21/67H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ACM Research (Shanghai), Inc.
ACM Research Korea Co., Ltd.
Cleanchip Technologies Limited
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 ACM Research (Shanghai)

ACM Research (Shanghai) ist die chinesische Tochtergesellschaft des US-notierten Halbleiterausrüsters ACM Research mit Sitz in Shanghai, der Reinigungs- und Beschichtungsanlagen für die Chipfertigung herstellt. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Verfahrenstechnik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum von 2007 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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