Verfahren zum Heizen einer Halbleiterstruktur

EP4391030 Art A1 26. Juni 2024

Anmelder: Comptek Solutions OY 🇫🇮

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4391030
Aktenzeichen
EP23214150
Anmeldetag
5. Dezember 2023
Veröffentlichung
26. Juni 2024
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/67H01L21/683
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Comptek Solutions OY
Land
🇫🇮 Finnland
Vertreten von
4
Patente gesamt
2
Fachgebiete
1
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