Siliziumvorläufer

EP4392428 Art A1 3. Juli 2024

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4392428
Aktenzeichen
EP22861860
Anmeldetag
8. Juli 2022
Veröffentlichung
3. Juli 2024
Rechtsraum
EP
IPC
C07F7/10C23C16/34C23C16/40C23C16/30C23C16/36C23C16/32C23C16/455
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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