Röntgenstrahlerzeugungsvorrichtung, Zieleinstellungsverfahren und Verfahren zur Verwendung der Röntgenstrahlerzeugungsvorrichtung

EP4394838 Art A1 3. Juli 2024

Anmelder: Canon Anelva Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4394838
Aktenzeichen: EP22935479
Anmeldetag: 31. März 2022
Veröffentlichung: 3. Juli 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01J35/08H01J35/30H01J35/14H05G1/34H05G1/52

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Canon Anelva Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon Anelva

Canon Anelva ist ein japanischer Hersteller von Vakuum- und Beschichtungsanlagen für die Halbleiterindustrie und Teil des Canon-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt um Schaltungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2024 ab.

421 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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