Vorläuferabgabesysteme, Vorläuferzufuhrpackungen und Zugehörige Verfahren

EP4395924 Art A1 10. Juli 2024

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4395924
Aktenzeichen
EP22865343
Anmeldetag
26. August 2022
Veröffentlichung
10. Juli 2024
Rechtsraum
EP
IPC
B01J7/00C23C16/448C01B25/10B01J4/00B01J4/02
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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