Verfahren und Vorrichtung zur Verarbeitung eines Elektrostatischen Halters

EP4395957 Art A1 10. Juli 2024

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4395957
Aktenzeichen
EP22865416
Anmeldetag
30. August 2022
Veröffentlichung
10. Juli 2024
Rechtsraum
EP
IPC
B23Q3/154H01L21/683H01L21/67B32B3/30B32B7/12B32B15/20B32B27/38B32B37/12B32B15/092H01L21/687
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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