Siliciumvorläufermaterialien, Siliciumhaltige Filme und Zugehörige Verfahren

EP4396393 Art A1 10. Juli 2024

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4396393
Aktenzeichen
EP22865251
Anmeldetag
7. Juli 2022
Veröffentlichung
10. Juli 2024
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/40C23C16/30C23C16/24C23C16/455C23C16/34C07F7/10C07F7/02C01B33/08C01B33/027C07F7/08
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

Vertreten von

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