Selektives Ätzen von Scandium-Dotiertem Aluminiumnitrid

EP4396861 Art A1 10. Juli 2024

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4396861
Aktenzeichen: EP22865333
Anmeldetag: 25. August 2022
Veröffentlichung: 10. Juli 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/311H01L21/02H01L21/768H01L21/306

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von