Systeme, Verfahren und Vorrichtung zur Korrektur der Thermischen Behandlung von Substraten

EP4396865 Art A1 10. Juli 2024

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4396865
Aktenzeichen: EP22865260
Anmeldetag: 21. Juli 2022
Veröffentlichung: 10. Juli 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/67F27B17/00G01J5/02G01J5/34G01J5/48H05B3/00G05D23/19G05D23/27H01L21/66G01J5/00G01J5/80

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

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