Dünnschichtabscheidungsvorrichtung, Dünnschichtabscheidungsverfahren und Dünnschichtabscheidungsvorrichtung

EP4397784 Art A1 10. Juli 2024

Anmelder: ACM Research (Shanghai) Inc., ACM Research Korea Co., Ltd., Cleanchip Technologies Limited 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4397784
Aktenzeichen: EP22863574
Anmeldetag: 1. September 2022
Veröffentlichung: 10. Juli 2024
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/458C23C16/455

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ACM Research (Shanghai) Inc.
ACM Research Korea Co., Ltd.
Cleanchip Technologies Limited
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 ACM Research (Shanghai)

ACM Research (Shanghai) ist die chinesische Tochtergesellschaft des US-notierten Halbleiterausrüsters ACM Research mit Sitz in Shanghai, der Reinigungs- und Beschichtungsanlagen für die Chipfertigung herstellt. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Verfahrenstechnik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum von 2007 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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