System zur Berechnung von Bewegungsfehlern, Werkzeugmaschine, Berechnungsvorrichtung, Kalibrierungsverfahren und Optische Messvorrichtung

EP4397941 Art A1 10. Juli 2024

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4397941
Aktenzeichen: EP21955944
Anmeldetag: 31. August 2021
Veröffentlichung: 10. Juli 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G05B19/401B23Q17/24G01B9/02001G01B21/04G01B9/02G01B11/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Steuerungs- & Regelungstechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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