Abscheidungsvorrichtung, Abscheidungsverfahren, Verfahren zum Verpacken eines Chips in ein Chipgehäuse
Anmelder: Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4400625
- Aktenzeichen
- EP23151545
- Anmeldetag
- 13. Januar 2023
- Veröffentlichung
- 17. Juli 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/04C23C14/54C23C14/26C23C14/28C23C14/16C23C14/08B33Y10/00B33Y30/00B29C64/00H05K3/04H01L21/26H01L23/00B23K26/00// H05K1/09H05K3/40
Abstract
A deposition apparatus (1) for depositing materials (Ma, Mb, ..., Mn) on a target (T) is provided herein. The apparatus is configured to initiate ejection of a material portion from an ejection position of a donor plate (2) at a point in time that a spatial vector defined between the deposition position (p<sub>s</sub>) and the ejection position (p<sub>e</sub>) corresponds to a movement of the donor plate (2) relative to the target (T). Also a corresponding deposition method is provided.
Anmelder
- Firma
- Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
Niederländisches, unabhängiges Forschungsinstitut für angewandte Naturwissenschaften mit Sitz in Den Haag. TNO betreibt anwendungsorientierte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Energie, Mobilität, Gesundheit, Verteidigung und Informationstechnologie.
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