Vorrichtung zur Zufuhr von Flüssigkeit zur Halbleiterherstellung
EP4401114
Art A1
17. Juli 2024
Anmelder: Kurita Water Industries Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4401114
- Aktenzeichen
- EP22866952
- Anmeldetag
- 17. März 2022
- Veröffentlichung
- 17. Juli 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/67
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kurita Water Industries Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Kurita Water Industries
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, spezialisiert auf Wasseraufbereitungstechnologien und Chemikalien für industrielle Anwendungen.
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