Konditionierungsvorrichtung zur Reduzierung der Positionsempfindlichkeit eines Laserstrahls auf einem Photodetektor und Verfahren zu Ihrer Verwendung

EP4402443 Art A1 24. Juli 2024

Anmelder: Electro Scientific Industries, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4402443
Aktenzeichen: EP22870481
Anmeldetag: 12. August 2022
Veröffentlichung: 24. Juli 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G01J1/42G01J1/04G02B5/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Electro Scientific Industries, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Electro Scientific Industries

Electro Scientific Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Lasersystemen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung und gehört zur MKS-Instruments-Gruppe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2024.

334 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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