Elektrostatische Einspannvorrichtung sowie Zugehörige Verfahren und Strukturen

EP4402716 Art A1 24. Juli 2024

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4402716
Aktenzeichen
EP22870633
Anmeldetag
14. September 2022
Veröffentlichung
24. Juli 2024
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/683H01L21/67H01L21/687
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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