Trägerunterstütztes Verfahren zum Trennen von Kristallinem Material Entlang einer Laserschadenregion

EP4403678 Art A3 23. Oktober 2024

Anmelder: Wolfspeed, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4403678
Aktenzeichen: EP24177158
Anmeldetag: 27. Dezember 2019
Veröffentlichung: 23. Oktober 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/02H01L21/304H01L21/78C30B33/00// H01L21/762

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Wolfspeed, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Wolfspeed

Wolfspeed ist ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleitern auf Basis von Siliziumkarbid für Leistungselektronik und HF-Anwendungen. Der Patentbestand konzentriert sich fast ausschließlich auf Halbleiterbauelemente sowie Elektronik- und Fertigungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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