Euv-Beleuchtungsvorrichtung und Verfahren zum Betreiben einer zum Betrieb im Euv Eingerichteten Mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage
EP4405751
Art A1
31. Juli 2024
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4405751
- Aktenzeichen
- EP22773634
- Anmeldetag
- 6. September 2022
- Veröffentlichung
- 31. Juli 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
Fachgebiete
Vertreten von
Frank, Hartmut
Mülheim a. d. Ruhr, Deutschland
103
Patente gesamt
19
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte