Fünfdimensionales Elektronenmikroskop und Analyseverfahren dafür

EP4407652 Art A1 31. Juli 2024

Anmelder: RIKEN 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4407652
Aktenzeichen: EP22872688
Anmeldetag: 5. September 2022
Veröffentlichung: 31. Juli 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/06H01J37/20H01J37/22H01J37/244H01J37/28G01N23/04H01J37/073H01J37/26H01J37/295

Offizieller Volltext

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Anmelder

Firma: RIKEN
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 RIKEN

Japanische staatliche Forschungseinrichtung mit Sitz in Wako bei Tokio, aktiv in Physik, Chemie, Biologie und Ingenieurwissenschaften mit zahlreichen Forschungszentren.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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