Etalonthermometrie für Plasmaumgebungen

EP4409243 Art A1 7. August 2024

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4409243
Aktenzeichen: EP22877102
Anmeldetag: 6. September 2022
Veröffentlichung: 7. August 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G01J5/00G01J5/02G01J5/08G01J5/80H01L21/67G01K11/125G01K15/00G01J5/58H01J37/32H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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