Ozonkonzentrationssensor mit mehreren Wellenlängen und Verwendungsverfahren dafür

EP4409266 Art A1 7. August 2024

Anmelder: MKS Instruments, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4409266
Aktenzeichen: EP22873421
Anmeldetag: 12. September 2022
Veröffentlichung: 7. August 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G01N21/31G01N21/33G01N21/27G01N21/03G01N33/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MKS Instruments, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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