Anisotropes Ätzen von Aluminium
EP4411790
Art A1
7. August 2024
Anmelder: Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO, Technische Universiteit Delft 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4411790
- Aktenzeichen
- EP23155186
- Anmeldetag
- 6. Februar 2023
- Veröffentlichung
- 7. August 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/3213// H01L21/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO
Technische Universiteit Delft - Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
TNO (Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek)
Niederländisches, unabhängiges Forschungsinstitut für angewandte Naturwissenschaften mit Sitz in Den Haag. TNO betreibt anwendungsorientierte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Energie, Mobilität, Gesundheit, Verteidigung und Informationstechnologie.
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🇳🇱
Technische Universiteit Delft
Niederländische Technische Universität in Delft mit breiter Forschung in Ingenieurwissenschaften und angewandter Technik.
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