Komprimierbare Schale für eine Feste Chemische Verdampfungskammer
EP4413176
Art A1
14. August 2024
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4413176
- Aktenzeichen
- EP22879303
- Anmeldetag
- 6. Oktober 2022
- Veröffentlichung
- 14. August 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/448
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
899 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
-
Greaves Brewster LLP
Greaves Brewster LLP · Cheddar