Filmbildungsvorrichtung und Verfahren zur Bildung eines Kristallinen Halbleiterfilms damit
EP4415028
Art A1
14. August 2024
Anmelder: SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD., Shin-Etsu Engineering Co., Ltd., Shin-etsu Engineering Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4415028
- Aktenzeichen
- EP22878146
- Anmeldetag
- 29. Juni 2022
- Veröffentlichung
- 14. August 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/365H01L21/368
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
Shin-Etsu Engineering Co., Ltd.
Shin-etsu Engineering Co., Ltd. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Chemical
Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.
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Fachgebiete
Kanzlei
Wuesthoff & Wuesthoff
München, Deutschland
Wuesthoff & Wuesthoff wurde 1927 in Berlin von Dr. Franz und Dr. Freda Wuesthoff gegründet, die erste deutsche Patentanwältin, und zog 1949 nach München. Schwerpunkte liegen in Biotechnologie und Life Sciences, beraten wird auch auf Chinesisch, Koreanisch und Japanisch.
29.952
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