Rutilphasenabscheidung mit Bevorzugten Kristallorientierungen

EP4416320 Art A1 21. August 2024

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4416320
Aktenzeichen: EP22881566
Anmeldetag: 30. September 2022
Veröffentlichung: 21. August 2024
Rechtsraum: EP
IPC: C30B1/02C30B25/22C30B29/02C23C14/58C23C14/08G02B1/02G02B27/01G02B30/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

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