Selektive Nassätzzusammensetzung und Verfahren

EP4419619 Art A1 28. August 2024

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4419619
Aktenzeichen
EP22884341
Anmeldetag
18. Oktober 2022
Veröffentlichung
28. August 2024
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/3213C23F1/38C09K13/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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