Drehreaktor zur Abscheidung von Filmen auf Teilchen

EP4419731 Art A1 28. August 2024

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4419731
Aktenzeichen
EP22884741
Anmeldetag
21. Oktober 2022
Veröffentlichung
28. August 2024
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/44C23C16/455C23C16/458C23C16/442B01J19/00B01J3/02B01J4/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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