Selektives Thermisches Ätzen von Atomschichten

EP4419732 Art A1 28. August 2024

Anmelder: Merck Patent GmbH, Versum Materials US, LLC 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4419732
Aktenzeichen: EP22808619
Anmeldetag: 17. Oktober 2022
Veröffentlichung: 28. August 2024
Rechtsraum: EP
IPC: C23F1/12C09K13/00H01L21/311H01L21/3213

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Merck Patent GmbH
Versum Materials US, LLC
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Merck KGaA

Deutsches Pharma- und Chemieunternehmen mit Sitz in Darmstadt. Aktiv in Biopharmazeutika, Life-Science-Technologien sowie elektronischen Materialien für Halbleiter- und Displayindustrie. Nicht zu verwechseln mit dem US-Unternehmen Merck & Co.

5.695 Patente in unserer Datenbank

🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

394 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von