Selektives Thermisches Ätzen von Atomschichten

EP4419732 Art A1 28. August 2024

Anmelder: Merck Patent GmbH, Versum Materials US, LLC 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4419732
Aktenzeichen: EP22808619
Anmeldetag: 17. Oktober 2022
Veröffentlichung: 28. August 2024
Rechtsraum: EP
IPC: C23F1/12C09K13/00H01L21/311H01L21/3213

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Merck Patent GmbH
Versum Materials US, LLC
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Merck KGaA

Deutsches Pharma- und Chemieunternehmen mit Sitz in Darmstadt. Aktiv in Biopharmazeutika, Life-Science-Technologien sowie elektronischen Materialien für Halbleiter- und Displayindustrie. Nicht zu verwechseln mit dem US-Unternehmen Merck & Co.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von