Verfahren zur T-Sax-Messung eines Abdeckungsfehlers, der ein durch eine Mikroelektronische Komponente Getragenes Kontrollmuster Beeinflussen, Entsprechendes Instrumentalsystem und Computerprogrammprodukt

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP4421482

Aktenzeichen

EP24159484

Anmeldetag

23. Februar 2024

Veröffentlichung

11. Juni 2025

Erteilung

11. Juni 2025

Rechtsraum

EP

IPC

G01N23/201

Abstract

Ce procédé (100) mesure, par une technique de diffusion des rayons X aux petits angles par transmission, un défaut affectant un motif résultant de la superposition de deux réseaux de lignes portés par un composant microélectronique, un repère xyz étant associé au composant, les lignes étant orientées selon la direction y et les réseaux étant superposés selon la direction z. Ce procédé consiste à : acquérir (110) des mesures d'intensité pour une pluralité d'angles d'incidence du faisceau de rayons X ; reconstruire (120), à partir des mesures d'intensité, deux tiges de Bragg ; déterminer (130) un angle de translation à partir d'un écart entre les positions selon la fréquence spatiale qz des maximums principaux des deux tiges de Bragg ; et déterminer (140) un angle de déformation à partir d'un écart entre les positions selon la fréquence spatiale qz des ième maximums secondaires des deux tiges de Bragg.

Anmelder

Firmen

Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives

Land

🇫🇷 Frankreich

Fachgebiete