Plasmaverarbeitungsvorrichtung, Plasmaverarbeitungsverfahren, Programm und Speichermedium

EP4421844 Art A3 20. November 2024

Anmelder: Canon Anelva Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4421844
Aktenzeichen: EP24187057
Anmeldetag: 21. Dezember 2018
Veröffentlichung: 20. November 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H05H1/46C23C14/34H01L21/31H01J37/32H01J37/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Canon Anelva Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon Anelva

Canon Anelva ist ein japanischer Hersteller von Vakuum- und Beschichtungsanlagen für die Halbleiterindustrie und Teil des Canon-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt um Schaltungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2024 ab.

421 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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