Vakuumbehandlungssystem, Vorrichtung und Verfahren zum Transport eines Dünnfilmsubstrats

EP4423309 Art A1 4. September 2024

Anmelder: Elevated Materials Germany GmbH, Applied Materials, Inc. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4423309
Aktenzeichen: EP21801468
Anmeldetag: 26. Oktober 2021
Veröffentlichung: 4. September 2024
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/56C23C16/54H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Elevated Materials Germany GmbH
Applied Materials, Inc.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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