System zur Ausgabe von Hohem Dampfdruck

EP4423311 Art A1 4. September 2024

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4423311
Aktenzeichen
EP22888003
Anmeldetag
24. Oktober 2022
Veröffentlichung
4. September 2024
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/448C23C16/52C23C16/455B01B1/00
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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