System zur Ausgabe von Hohem Dampfdruck
EP4423311
Art A1
4. September 2024
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4423311
- Aktenzeichen
- EP22888003
- Anmeldetag
- 24. Oktober 2022
- Veröffentlichung
- 4. September 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/448C23C16/52C23C16/455B01B1/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Vertreten von
-
Greaves Brewster LLP
Greaves Brewster LLP · Cheddar