Verfahren und Vorrichtung zur Regulierung der Spülung in einen Behälter
EP4423802
Art A1
4. September 2024
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4423802
- Aktenzeichen
- EP22887997
- Anmeldetag
- 24. Oktober 2022
- Veröffentlichung
- 4. September 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/673
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Fachgebiete
Vertreten von
-
Greaves Brewster LLP
Greaves Brewster LLP · Cheddar